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美国联邦标准FS209E中的洁净等级


等级名称

 

等级限值

         
  

0.1μm

 

0.2μm

 

0.3μm

 

0.5μm

 

5μm

 
  

容积单位

 

容积单位

 

容积单位

 

容积单位

 

容积单位

 

国际单位

英制
单位

m3

Ft3

m3

Ft3

m3

Ft3

m3

Ft3

m3

Ft3

M1.0

 

350

9.91

75.7

2.14

30.9

0.875

10

0.283

/

/

M1.5

1

1240

35.0

265.0

7.5

106

3

35.3

1

/

/

M2.0

 

3500

99.1

757

21.4

309

8.75

100

2.83

/

/

M2.5

10

12400

350.0

2650

75

1060

30

353

10

/

/

M3.0

 

35000

991.0

7570

214

3090

87.5

1000

28.3

/

/

M3.5

100

/

/

26500

750

10600

300

3530

100

/

/

M4.0

 

/

/

75700

2140

30900

875

10000

283

/

/

M4.5

1000

/

/

/

/

/

/

35300

1000

247

7

M5.0

 

/

/

/

/

/

/

100000

2830

618

17.5

M5.5

10000

/

/

/

/

/

/

353000

10000

2470

70

M6.0

 

/

/

/

/

/

/

1000000

28300

6180

175

M6.5

100000

/

/

/

/

/

/

3530000

100000

24700

700

M7.0

 

/

/

/

/

/

/

10000000

283000

61800

1750


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